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同德國、意大利等歐洲工廠建立總代理合作
詢價(jià)電話：15538055081
服務(wù)時(shí)間：周一至周五 9:00-18:00
| 參數(shù) | ArF 類型 | ArF 類型 | ArF 類型 | KrF 類型 | KrF 類型 | KrF 類型 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 波長（納米） | 193 | 193 | 193 | 248 | 248 | 248 |
| 最大重復(fù)頻率（赫茲） | 200 | 500 | 1000 | 200 | 500 | 1000 |
| 穩(wěn)定脈沖能量（毫焦） | 6 | 6 | 6 | 10 | 10 | 10 |
| 穩(wěn)定脈沖功率（瓦） | 1.2 | 3.0 | 6.0 | 2.0 | 5.0 | 10 |
| 能量穩(wěn)定性（標(biāo)準(zhǔn)差，%） | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 |
| 光束尺寸（半高寬，垂直 × 水平 毫米） | 6×3 | 6×3 | 6×3 | 6×3 | 6×3 | 6×3 |
| 光束發(fā)散角（半高寬，垂直 × 水平 毫弧度） | 2×1 | 2×1 | 2×1 | 2×1 | 2×1 | 2×1 |
| 脈沖寬度（半高寬）（納秒） | 5-10 | 5-10 | 5-10 | 5-15 | 5-15 | 5-15 |
MLI-200 / 500 / 1000 是 MLase AG 推出的緊湊型單相準(zhǔn)分子激光器，分為 ArF（193 納米波長）和 KrF（248 納米波長）兩大系列。產(chǎn)品采用剛性設(shè)計(jì)與全金屬密封燈管，搭配電暈預(yù)電離技術(shù)和固態(tài)電路，具備高可靠性與超長使用壽命，可承受數(shù)十億次脈沖操作。其核心優(yōu)勢包括均勻的光束輪廓、即時(shí)啟用無老化問題、能量穩(wěn)定且易于集成，適用于多種需要精準(zhǔn)激光處理的工業(yè)場景。
